直流濺射電源DC500/1000E
所屬分類：
濺射電源
關(guān)鍵詞： 直流濺射電源DC500/1000E
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
SI-DC500、1000 型多功能直流電源，采用先進(jìn)的高頻 PWM 開關(guān)電源控制技術(shù)、微電腦控制技術(shù)、完善的反饋控制技術(shù)及先進(jìn)的電路設(shè)計(jì)技術(shù)研發(fā)設(shè)計(jì)，用于磁控濺射鍍膜、等離子發(fā)生器、二級(jí)濺射、CVD 樣品偏壓等方面。并具有如下獨(dú)特功能：
● 恒壓（偏壓）、恒流和恒功率三種模式；
● 控制精度高，可達(dá) 0.1%+1 字；
● 多種多重智能保護(hù)及故障檢測(cè)功能，運(yùn)行可靠性高；
● RS232 或 RS485 通訊接口,可實(shí)現(xiàn)全功能遙控與遙測(cè)；
● 外控接口， 可實(shí)現(xiàn)外部模擬控制及級(jí)聯(lián)輸出功能；
● 20 微秒高速滅弧功能，可有效抑制磁控靶的放電現(xiàn)象，對(duì)磁控靶及靶材具有良好的保護(hù)作用；
● 雙通道輸出，可本地或遙控切換選擇；
● 軟起動(dòng)功能，0.1~10 秒可本地或遙控設(shè)置；
● 體積小重量輕。最大外形尺寸 483 x 89 x 200 全機(jī)僅 4.2kg；
● 定時(shí)關(guān)機(jī)功能， 1~9999 秒可本地或遙控設(shè)置；
● 4.3 吋彩色液晶屏顯示，觸摸屏操作。操作簡(jiǎn)單、使用方便。
● 輸出電壓有 600V（ 磁控濺射、 偏壓電源）和 1200V（ 二極濺射、 等離子發(fā)生器） 兩種電壓可供選擇。
● 輸出極性有"正"（陽(yáng)極等離子發(fā)生器、偏壓） 和"負(fù)"（濺射、偏壓、等離子發(fā)生器）兩種選擇
技術(shù)指標(biāo)
供電電源要求： AC220V / 50Hz（±10%） 最大電流 5A
運(yùn)行模式： 恒流、恒壓、恒功率（可手動(dòng)選擇）
最大輸出電壓： ±600V、 ±1200V ①
最大輸出電流： 2A、 1A、 0.5A ②
最大輸出功率： 500W、 1000W ②
負(fù)載調(diào)整率： >99.86%
短路響應(yīng)時(shí)間： <5mS
控制精度： 1%±1字、 0.1%±1字 ③
顯示器： 4.3吋彩色液晶顯示屏
計(jì)算機(jī)接口： RS-232/485串行接口 (選配件)
定時(shí)器最大時(shí)間： 9999S
軟啟動(dòng)時(shí)間： 0.1~10S
最大外形尺寸： 483 x 89 x 200 ( 寬 x 高 x 深 )
重量： 4.2kg (電源主機(jī))
使用溫度： 0-40℃ (電源/顯示器)
濕度范圍： 5%-85%RH.， 不結(jié)露
①： 600V/1200V 兩種電壓； 正電壓/負(fù)電壓兩種極性輸出訂貨時(shí)選擇。 默認(rèn)輸出： -600V（磁控濺射）。
②： 訂貨時(shí)選擇。 600V/1A/500W； 600V/2A/1000W；1200V/0.5A/500W； 1200V/1A/1000W；
③： 訂貨時(shí)選擇。
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